半导体磁通测试系统
| 我司研制开发半导体磁通测试系统，被测元件共有50余种，外形尺寸有差异的约有70余种，重量50kg以内，待被测元件尺寸范围约≤Φ800mm*80mm； |
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(1) 测试时间<30min（正常采集≥2**00个点）； (2) 测试系统清零空跑运行1h内，Bx，By，Bz的变化量均不超过0.1mT； (3) 测试系统要求3轴磁通最大量程≥10KGs，分辨率≤0.1Gs(0.01mT), (4) 测试系统有激光测距传感器实时监测，防止出现运动轨迹平面与产品不平行，激光传感器测量精度不低于0.05mm，系统智能检测磁控维度； (5) 测试系统具备X、Y、Z三轴联动系统，重复精度±0.01mm；XYZ三轴联动时系统速度范围≤200mm/s可调，精度保持±0.001mm内；
测试计算： SSR= SSE=
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xy-
)2
xy-Bxy)2
